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二維材料疊加系統

圖1,二維材料疊加系統的基本構成



圖2 主機的部件示意圖
?1.上層樣品控制部分;2‚下層樣品控制部分;3.顯微成像部分;4.光路部分



圖3 控制器示意圖


圖4 軟件界面


圖4 真空泵示意圖

  • 主要部件的功能說明
表1  設備部件功能說明
序號 部件名稱 功能說明
1 上層樣品控制部分 尋找上層樣品并精確控制上層樣品下降,疊加下層樣品
2 下層樣品控制部分 尋找旋轉中心;尋找下層樣品
3 顯微成像部分 對上下層樣品成像,確定位置
4 光路部分 加工樣品
  • 使用方法
  1. 檢查設備
  1. 打開LED燈,檢查電源開關是否正常工作;
  2. 打開CCD軟件,檢查是否正常工作;
  3. 打開電控臺開關,檢查是否正常運行;
  4. 打開軟件控制部分,測試是否正常工作;
  5. 檢查螺絲等緊固件是否該牢固,以達到安全工作。
  1. 準備工作
  1. 放置上下層樣品,觀察其所在平面是否平行,若否,調試“角位移臺”至平行;
  2. 聚焦下層樣品平面,在電腦清晰成像,調節“電動轉臺”,觀察旋轉中心是否在成像范圍內,若否,調節②中二維平移臺直至旋轉中心在成像范圍內。
  1. 工作步驟
  1. 通過調節②中二維平移臺尋找下層樣品,調節①中平移臺尋找上  層樣品平面,然后尋找上層樣品;
  2. 打開電控臺以及軟件,電控臺上選擇③中一維電動平移臺對應地址并電控尋找下層樣品,軟件同時記錄了位置變化,及上下層樣品間的距離L;
  3. 選擇①電動平移臺對應地址,調控電動平移臺下降L,將兩樣品貼合。
  • 常見問題及解決方案
問題1:兩個一維電動平移臺的設定相同的行程時,實際位移不同。
解決方案:重新安裝電控臺控制器或在‘平移臺類型’選對應型號的類型。
問題2:電動平移臺①運行了L距離,但仍上下層樣品沒有貼合。
解決方案:嘗試一個微小的超過量,如果仍沒有貼合,重新調節平行。

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